소니, 9.9인치 Flexible OLED 개발
소니, 9.9인치 Flexible OLED 개발
소니는 9.9인치 Flexible OLED 패널을 개발해 SID 2012에서 공개했다. 해상도는 960 x 540(qHD) , 111 ppi이다.
TFT는 비정질 IGZO TFT이며, White OLED + color filter방식으로 top emission 구조를 적용했다.
소니의 9.9인치 Flexible OLED는 유리에 필름을 접착한 두 개의 기판을 이용해 한 개의 기판은 TFT와 OLED device, 다른 하나는 Color filter를 형성한 뒤 두 개의 기판을 부착한 뒤 유리를 제거한다.
비정질 IGZO TFT는 진공 증착과 포토리소그래피(Photolithography) 기술을 적용하는 일반적인 공정을 적용했으며, IGZO층은 스퍼터링으로, 게이트 절연막 (SiOx)는 PECVD로 증착했다. Bottom gate TFT 구조이며, 신뢰성 향상을 위한 반도체층의 상부에 에칭 스토퍼 층을 두고 있다. 캐리어 이동도는 13.4cm2/Vs 하위 임계값 스윙 0.2V/dec.이며, 이 값은 유리 기판에 직접 형성하는 것과 비슷하며 유리를 박리하는 전후로, TFT 특성에 변화가 없다고 소니는 밝혔다.
White OLED device는 저분자 재료를 증착하여 형성했다. 소니는 9.9인치 Flexible OLED display에 Top emission 구조를 적용한 이유는 “OLED TV나 모니터, 헤드 마운트 디스플레이 전용 등의 제품에서 축적된 기술과 노하우를 살리기 위해서”라고 전했다.
또한 소니는 SID 2012에서 9.9인치 Flexible OLED를 전시하지는 않고, 컴퓨터 화면을 통해 공개했다.
Source : Techon
